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哪款“白光轮廓仪”适合您?

日期:2024-09-08 12:12
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摘要: ZYGO 3D 白光干涉轮廓仪,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌。白光轮廓仪广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域,用于表面形貌纹理,微观结构分析。 ZYGO 有三个型号标准白光干涉轮廓仪,Zegage,NewView,Nexview,它们设计理念各有不同,配合各类附件,能良好满足各种场景,各类环境下的不同应用需求。 ZYGO 白光轮廓仪的共有特点和优势: · ZYGO SureScan™大幅减小了环境振动的影响;还可以降低高精度量测时的噪声,提高超光...

ZYGO 3D 白光干涉轮廓仪,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌。白光轮廓仪广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域,用于表面形貌纹理,微观结构分析。

    ZYGO 有三个型号标准白光干涉轮廓仪,Zegage,NewView,Nexview,它们设计理念各有不同,配合各类附件,能良好满足各种场景,各类环境下的不同应用需求。


ZYGO 白光轮廓仪的共有特点和优势:


·              ZYGO SureScan™大幅减小了环境振动的影响;还可以降低高精度量测时的噪声,提高超光滑表面的测试精度。


·              ZYGO SmartSetup™,自动对焦样品表面,自动智能配置测试参数,使原来麻烦的“找条纹”, “选择测试参数”过程,在一分钟之内,自动完成


·              ZYGO全系列白光轮廓仪,都包括自动防撞功能,”心细如发“,“一触即止”,能*大程度保护样品和设备的**。

基于以上ZYGO共有的功能,每一款白光轮廓仪又有什么自己的特点呢?今日小Z就和各位亲聊聊:


如何选择ZYGO白光轮廓仪

ZeGage™系列


1.6K*1.2K像素,1X光学缩放,

SureScan™采样;

可选手动调整,或3轴(Z,XY平移)自动调整样品台;

表面形貌重复性(STR);

ZeGage™Pro     3.5nm

ZeGage™Pro HR  0.15nm


ZeGage™桌面型光学轮廓仪,结构紧凑,稳定可靠。它采用一体化结构设计,配合ZYGO SureScan™抗振采样模式,可以无需气浮抗振台,直接置于桌面,在生产环境中量测。


·              ZeGage™ 系列有两种型号,都具有较高性价比。ZeGage™Pro表面形貌重复性(STR) 3.5nm,适用于精密机械,材料学,摩擦磨损等纳米级测量;ZeGage™Pro HR表面形貌重复性(STR) 0.15nm,可以量测亚纳米级超光滑表面。


·              ZeGage™可选增高架构,用于测量更大尺寸的样品;还可以选用3轴(Z,Tip/Tilt倾斜俯仰)自动调整样品台,具有拼接测量及一定编程自动化测量的能力。

Newview™9000


1.6K*1.2K,0.5X,1X, 2X 目镜;

CSI, SureScan™, SmartPSI采样;

可选手动调整,或5轴(Z,XY平移,Tip/Tilt倾斜俯仰)自动调整样品台;

手动孔径光阑,及视场光阑;

Newview 表面形貌重复性(STR) 0.08nm


Newview™9000是ZYGO应用*广的高性能光学轮廓仪,配合丰富的配置及附件,满足多样化应用需求。


·              Newview™9000 150um范围使用压电陶瓷闭环扫描,表面形貌重复性(STR) 0.08nm,可以满足苛刻的超光滑表面测试需要。


·              Newview™9000光学系统包括孔径光阑,及视场光阑;可优化光学成像质量,适用于不同样品表面纹理和微结构。


·              Newview™9000采用分立龙门架构,可以通过标准垫块附件,抬高测试头,来测试超大超高样品。


·              Newview™9000可选5维全自动样品台,配合ZYGO脚本编程工具,自主开发工业自动化测试流程。

Nexview™  NX2 


1.6K*1.2K,0.5X,1X, 2X目镜;

CSI, SureScan™, SmartPSI采样;

标配5轴(Z,XY平移,Tip/Tilt倾斜俯仰)自动调整样品台;

全自动孔径光阑,及视场光阑调整;

Nexview™  NX2  表面形貌重复性(STR) 0.06nm

Ture Color样品表面彩色3D形貌测量


Nexview™  NX2是ZYGO光学轮廓仪系列中,测试精度*高,功能*全,整机完全自动化的型号;NX2专为*挑战应用设计制造。


·              Nexview™  NX2 150um范围使用压电陶瓷闭环扫面,表面形貌重复性(STR) 0.06nm,是ZYGO光学性能,噪声系数*优的型号,可以满足*苛刻的埃级超光滑表面测试需要。


·              Nexview™  NX2覆盖了其它ZYGO白光轮廓仪的所有功能;此外还独有Ture Color样品表面彩色3D形貌测量能力。


·              Nexview™  NX2同样采用分立龙门架构,可以通过标准垫块附件,抬高测试头来测试超高样品。


·              Nexview™  NX2实现了整机完全自动化,从塔台,样品台,到光学系统光阑控制,全部软件可编程;配合ZYGO脚本编程工具,Nexview™  NX2可以实现完全自动化测试。


沪公网安备 31011502007567号

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