哪款“白光轮廓仪”适合您?
ZYGO 3D 白光干涉轮廓仪,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌。白光轮廓仪广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域,用于表面形貌纹理,微观结构分析。
ZYGO 有三个型号标准白光干涉轮廓仪,Zegage,NewView,Nexview,它们设计理念各有不同,配合各类附件,能良好满足各种场景,各类环境下的不同应用需求。
ZYGO 白光轮廓仪的共有特点和优势:
· ZYGO SureScan™大幅减小了环境振动的影响;还可以降低高精度量测时的噪声,提高超光滑表面的测试精度。
· ZYGO SmartSetup™,自动对焦样品表面,自动智能配置测试参数,使原来麻烦的“找条纹”, “选择测试参数”过程,在一分钟之内,自动完成
· ZYGO全系列白光轮廓仪,都包括自动防撞功能,”心细如发“,“一触即止”,能*大程度保护样品和设备的**。
基于以上ZYGO共有的功能,每一款白光轮廓仪又有什么自己的特点呢?今日小Z就和各位亲聊聊:
如何选择ZYGO白光轮廓仪
ZeGage™系列
1.6K*1.2K像素,1X光学缩放,
SureScan™采样;
可选手动调整,或3轴(Z,XY平移)自动调整样品台;
表面形貌重复性(STR);
ZeGage™Pro 3.5nm
ZeGage™Pro HR 0.15nm
ZeGage™桌面型光学轮廓仪,结构紧凑,稳定可靠。它采用一体化结构设计,配合ZYGO SureScan™抗振采样模式,可以无需气浮抗振台,直接置于桌面,在生产环境中量测。
· ZeGage™ 系列有两种型号,都具有较高性价比。ZeGage™Pro表面形貌重复性(STR) 3.5nm,适用于精密机械,材料学,摩擦磨损等纳米级测量;ZeGage™Pro HR表面形貌重复性(STR) 0.15nm,可以量测亚纳米级超光滑表面。
· ZeGage™可选增高架构,用于测量更大尺寸的样品;还可以选用3轴(Z,Tip/Tilt倾斜俯仰)自动调整样品台,具有拼接测量及一定编程自动化测量的能力。
Newview™9000
1.6K*1.2K,0.5X,1X, 2X 目镜;
CSI, SureScan™, SmartPSI采样;
可选手动调整,或5轴(Z,XY平移,Tip/Tilt倾斜俯仰)自动调整样品台;
手动孔径光阑,及视场光阑;
Newview 表面形貌重复性(STR) 0.08nm
Newview™9000是ZYGO应用*广的高性能光学轮廓仪,配合丰富的配置及附件,满足多样化应用需求。
· Newview™9000 150um范围使用压电陶瓷闭环扫描,表面形貌重复性(STR) 0.08nm,可以满足苛刻的超光滑表面测试需要。
· Newview™9000光学系统包括孔径光阑,及视场光阑;可优化光学成像质量,适用于不同样品表面纹理和微结构。
· Newview™9000采用分立龙门架构,可以通过标准垫块附件,抬高测试头,来测试超大超高样品。
· Newview™9000可选5维全自动样品台,配合ZYGO脚本编程工具,自主开发工业自动化测试流程。
Nexview™ NX2
1.6K*1.2K,0.5X,1X, 2X目镜;
CSI, SureScan™, SmartPSI采样;
标配5轴(Z,XY平移,Tip/Tilt倾斜俯仰)自动调整样品台;
全自动孔径光阑,及视场光阑调整;
Nexview™ NX2 表面形貌重复性(STR) 0.06nm
Ture Color样品表面彩色3D形貌测量
Nexview™ NX2是ZYGO光学轮廓仪系列中,测试精度*高,功能*全,整机完全自动化的型号;NX2专为*挑战应用设计制造。
· Nexview™ NX2 150um范围使用压电陶瓷闭环扫面,表面形貌重复性(STR) 0.06nm,是ZYGO光学性能,噪声系数*优的型号,可以满足*苛刻的埃级超光滑表面测试需要。
· Nexview™ NX2覆盖了其它ZYGO白光轮廓仪的所有功能;此外还独有Ture Color样品表面彩色3D形貌测量能力。
· Nexview™ NX2同样采用分立龙门架构,可以通过标准垫块附件,抬高测试头来测试超高样品。
· Nexview™ NX2实现了整机完全自动化,从塔台,样品台,到光学系统光阑控制,全部软件可编程;配合ZYGO脚本编程工具,Nexview™ NX2可以实现完全自动化测试。