ZYGO白光轮廓仪之“快速跳跃扫描”ZIP-SCAN模式

您知道么？ZYGO所有型号白光轮廓仪，都具有ZIP-SCAN“快速跳跃扫描” 模式，用于大高度，多层台阶的高效测量。

对于有高度差的台阶表面，ZYGO基本解决方案是，以扫描高度覆盖台阶高度，从而测出台阶样品整个微观形貌。但高精度模式下，压电陶瓷扫描长度一般在100um左右，这大大限制了台阶高度的测量范围。 

ZYGO还提供延长扫描（Extended Scan Length）的测量方案，以电机驱动纵向扫描，高度可达20mm，几乎可以解决大部分高落差的台阶样品。但由于在整个20mm高度的扫描过程中，系统一直在测量采样，所以这一扫描测量过程，会花费较长的时间。 

如果您的样品具有大的台阶跳跃，或者多层台阶，对测量时间效率要求高，那您可以考虑ZYGO独有的“快速跳跃扫描”ZIP-SCAN模式。

Zip Scan（快速跳跃扫描）模式，是以电机驱动，移到预设的台阶高度，再切换为压电陶瓷做高精度扫描。测试时兼容多个CSI扫描模式，包括SureScan抗震模式，同时还可兼容Stitch拼接和Pattern功能。

Zip Scan的优点：对于台阶高度大的样件，Zip Scan测试效率高，节约时间成本，测试结果准确。避免了延长扫描的长耗时，减少了延长扫描过程中环境震动的影响。同时，对于多台阶的样件，可实现每层可以自定义光强，以及每层可以自定义扫描长度。

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