ZYGO发布Mx™ 9.1软件

2023年4月4日，康涅狄格州米德尔菲尔德，Zygo公司---全球知名的光学计量系统设计制造商，更新了其计量软件Mx的*新版本。这是一个适用于所有相关Zygo计量设备的全新版本。

Zygo的Mx软件整合了表面形貌和透射波前计量时，数据的采集和分析。其强大的功能和直观的可视化设计，使数据采集和分析变得快速而简单。9.1版提供了几个新关键优势，如：

·                    非球面综合分析；

·                    全新的轮廓分析；

·                    以及支持所有相关Zygo计量设备，自定义流程的自动测量和拼接功能。

Zygo总部位于康涅狄格州的米德尔菲尔德小镇，其设计的Mx软件，几十年来一直为综合计量软件设立了“黄金标准”，即在一个软件平台上，定制化采集和分析数据，通过优化仪器性能、自动化测量，和分析数据，确保了您对每一次测量的信心。

非球面综合分析

Zygo用户体验产品经理Martin Fay说："Mx™9.1软件通过Asphere+分析功能扩展了Zygo相关合作软件对非球面分析的能力，为基于任何设备获得的非球面数据，提供了一个通用分析工具。它可以自各类非球面面形数据中逆推其设计方程，也可以测量器件实际形貌和设计之间的三维形貌偏差，并将偏差数据导出，用于制造过程的反馈。"

全新轮廓分析模块

Mx™9.1软件的新功能还包括新的**轮廓分析模块，基于Digital Surf的MountainsMap®软件功能。Zygo光学轮廓仪产品经理Eric Felkel补充说："这项新的软件功能，为我们的客户提供了更多的能力，用于检测他们*具挑战性的表面上的关键尺寸。通过将MountainsMap的这一行业**功能直接纳入Zygo的Mx软件界面，**轮廓分析模块可以简化客户的工作流程，新的可测量尺寸结果，包括半径、直径、距离和角度。"

自定义流程的自动测量和拼接功能

Mx™9.1软件还为Zygo的激光干涉仪引入了自动测量和拼接功能。激光干涉仪产品经理Erin McDonnell说："在Mx软件中增加激光干涉仪自动测量和拼接功能，是一个重大进步，使我们的客户能够以高横向分辨率，对大尺寸器件面形进行测量，还可以简化样品平台以提高产出。

Martin Fay补充说："自动测量模块已经为所有Zygo用户进行了简化，支持复杂几何形状的运动轨迹；以及在自动测量运行期间，分析已经收集的数据。"

Mx™9.1软件目前已在所有新的计量系统上安装，并支持在已有的Zygo计量设备上升级。

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