产品详情
简单介绍:
TAYLOR HOBSON: CCI Lite非接触形貌仪采用CCI(砖利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度、三维及二维尺寸、表面缺陷检测分析并生成统计报告
详情介绍:
英国TAYLOR HOBSON非接触形貌仪: CCI Lite非接触形貌仪采用CCI(砖利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度、三维及二维尺寸、表面缺陷检测分析并生成统计报告;
英国TAYLOR HOBSON非接触形貌仪:
1. 减震基座及立柱:
铸铝基座:结合气浮减震,提高测量的稳定性和重复精度
钢结构立柱:提高测量回路的坚固性和稳定性,降低外部震动影响
2. 系统参数
(1) 干涉类型 : CCI 干涉,泰勒霍普森砖利相干相关算法
(2) 测量量程: 2.2mm(标准), >10mm是采用数据拼接
(3) 分辨率: 0.1 A
(4) RMS重复性: <0.02nm
(5)垂直扫描速度: 7 um/s
(6) 测量点数: 1 1024 x 1024 点阵
(7) X Y 轴单次测量范围: 0.36 – 7.2 mm
(8) X Y 轴分辨率: 0.4-0.6um(
(9) 台阶高度的重复性: >0.1 %
(10)系统噪音: <0.08nm
(11)测量时间: 典型样品5-20秒
(12) 被测件的反射率: 0.3 –100%