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  • 产品名称:NexView Optical Profiler

  • 产品型号:NexView Optical Profiler3D光学表面轮廓仪
  • 产品厂商:美国ZYGO
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简单介绍:
3D光学表面轮廓仪NexView Optical Profile,无论视场范围多大均可以达到亚纳米级的测量精度。可以测量平面度、粗糙度、大的台阶、薄膜和陡坡等
详情介绍:

Nexview™3D光学表面轮廓仪

NexView 3D光学表面轮廓仪擅长测量各种表面的微观形貌,从超光滑到非常粗糙的表面,都能准确计量。无论视场范围多大均可以达到亚纳米级的测量精度。可以测量平面度、粗糙度、大的台阶、薄膜和陡坡等。测试范围从小于1纳米到20000微米。


SiC镜面:可以很清晰的看到结晶特征和抛光痕迹


Mx软件界面(点击图像放大)


120度的锥角


单点金刚石切削面


自动200mm集成测量台

超强的测试范围
可以测试所有类型的表面,从粗糙到超光滑,包括薄膜、陡坡、和大台阶。

计量能力体现
优越的精度和重复性能够满足*严苛的测试需求

抗震技术
几乎可以在任何环境下都能正常工作

ISO 25178 表面测量国际标准

全新版面的工作流程软件
功能更强大,操作更简便易学

流线型设计
无需手动操作,全自动化控制

需要的唯壹的轮廓仪

你不再需要根据你要测量的表面类型来选择一台轮廓仪。NexView轮廓仪几乎可以测量任何表面的形貌,从亚埃级的超光滑表面,到高达85度的大坡度机械件,全部采用3D、非接触式测量,克服了其它测量技术(探针式、共聚焦、聚焦扫描)的缺点,提供了*好的计量检测方案

全新的分析和控制软件

NexView轮廓仪采用全新的Mx(TM)软件强化了整个系统的控制和分析,包括丰富的交互式3D图像,定量的形貌信息,直观的测量导航,以及嵌入的包含数据统计、控制图表和通过/失败限制的SPC。

交互式3D – 变倍,全景,旋转,以及实时的更新结果。

灵活的分析工具 – 包含大量的定量结果、数据视图、滤波。

上等的分析工具 – 提供了用于数据调查、操作和测量对比的自由布局区域。

直观的用户界面 – 流程化的设计使软件简单易学,便于操作。

浮动的工具条 – 可自由设定,满足您的工作流程。

针对特殊测试的需求,软件有专门的应用模块,比如透明薄膜的测量,以及2D可视化分析等,对于有需要的使用者,这些功能非常有帮助。

自动化操作

NexView轮廓仪是无需手动操作的,全部自动电动控制,因此能够利用软件进行多次序列化自动测量,可以对装夹好的样品进行程序化的自动测量,及对大样品的快速拼接。

整洁,流线型,设计感

Nexview系列轮廓仪具有清晰的视野,开放的工作区域,使得测量安装和更换样品变得简单而快速。它的全新、自动化,集成的200mm测量台是整洁、有效的工业设计的缩影。它的大负载的可正负4度倾斜的样品台,使测量时的调校变得简单,即使是对于毫无特征的表面也



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