Form Talysurf PGI Freeform
全自动化的快速、**的系统,用于自由曲面光学元件测量
全新的Form Talysurf PGI Freeform是一个多功能、高分辨率的系统,专门用于测量高精度自由曲面光学元件。
提供三维光栅/径向测量和分析:
*球面 *非球面 *衍射 *自由曲面
Form Talysurf PGI Freeform可以使用许多用于自由曲面定义的*新公式,例如:
*环面 *NURBS
*双锥 *Zernike
*不对称非球面 *点云
*椭圆面 *A-Cylinder
测量完整性和可再现性:
Taylor Hobson的Form Talysurf数十年的测量经验、超精密的制造技术和FEA优化设计为PGI Freeform打下了坚实的基础。这些提供了测量轴的低噪音和接近上乘的机械执行。
通过新的专用软件界面,可以轻松设置和分析**的自由曲面测量。Form Talysurf PGI Freeform使其成为完整的光学计量解决方案。
设计用于快速而**地测量研磨、慢速或快速刀具伺服和MRF生成的表面。
测量仪量程: *长28mm
分辨率: 0.8nm
坡度: 斜度*大50度
三维形状误差: 150-250nm
值得信赖的结果
三维校准功能提供****的测量:
三维校准程序
达到光学级精度的**三维测量不能通过简单地添加一个Y轴台来实现
*独特、新型的真正三维校准
*非机械方式可实现的对齐误差校正
*是**的三维测量的关键
*典型形状误差:
《500nm,无三维校准
《150nm,有三维校准
测量和分析:
完整的三维测量实现**的表面分析:
*容易定义测量设置
*三维点云原始表面
*专用自由曲面分析实用工具允许将原始表面与设计进行对比
*残余表面显示形状误差
*输出残余表面用于与制造过程连接